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Thermo Scientific™ SURF-CAL™ Partikelgrößenstandards
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Durchmesser (metrisch):
0,047 μm
0,064 μm
0,083 μm
0,092 μm
0,100 μm
0,155 μm
0,202 μm
0,204 μm
0,220 μm
0,304 μm
0,360 μm
0,498 μm
0,802 μm
0,809 μm
1,112 μm
1,59 μm
2,01 μm
3,04 μm
Konzentration:
1 x 10 ¹ º Partikel / ml
3 x 108 Partikel / ml
Packungsgröße:
50 Milliliter
Beschreibung
Vereinfachen Sie die Vorbereitung von Kalibrierungswafern mit Thermo Scientific™ SURF-CAL™ Partikelgrößenstandards zur Kalibrierung und Wartung von Oberflächeninspektionssystemen (Scanning Surface Inspection Systems, SSIS). Erhältliche Partikelgrößen entsprechen den von den Instrumentenherstellern geforderten Kalibrierpunktgrößen.
Thermo Fisher Scientific™ hat zusammen mit der Halbleiterindustrie und SEMI bestimmte Partikelgrößen festgelegt, die bei der Kalibrierung von Oberflächeninspektionssystemen verwendet werden. Wir haben zusammen mit den Instrumentenherstellern die Produktreihe SURF-CAL™ entwickelt, welche die Richtlinien der SEMI-Norm erfüllt.
- Die verfügbaren Größen werden gemäß Definition in der „International Technology Roadmap for Semiconductors“ (ITRS) als wesentliche Kalibrierungsknoten betrachtet.
- Durch das Auftragen von SURF-CAL™ NIST™-nachweisbaren Polystyrollatexsphären (PSL) auf speziell ausgewählte Wafer können regelmäßige Kalibrierungsprüfungen durchgeführt und Scanner vor Ort mit Scannern an anderen Standorten verglichen werden
- Des Weiteren kann die Leistung der SSIS in kritischen Phasen des Herstellungsverfahrens eingeschätzt werden.
- Alle Produkte sind in deionisiertem gefiltertem Wasser in 50 ml-Flaschen bei einer Konzentration von 3 × 108 Partikeln pro Milliliter suspendiert.
Hinweis:
Die Produkte PD1100 und kleiner sind auch mit 1010 Partikeln pro ml für Anwendungen erhältlich, bei denen ein Differenzial-Mobilitätsanalysator (DMA) oder weitere Größenausschlusstechnologien eingesetzt werden.
Spezifikation
Spezifikation
| Zusatzstoff | Ohne |
| Konzentration | 1 x 10 ¹ º Partikel / ml |
| Inhalt und Lagerung | Sofern nicht anders angegeben, bei Nichtverwendung kühl lagern (bei 2 bis 8 °C), jedoch nicht einfrieren. Aufrecht lagern und Flasche dicht verschlossen halten Produkt entweder manuell durch vorsichtiges Überkopfdrehen oder mittels Vortexmixer mischen. |
| Inhalt | Polystyrol-Mikrosphären in deionisiertem, gefiltertem Wasser |
| Beschreibung | Partikel für die Kalibrierung und Wartung von Scanoberflächen-Inspektionssystemen (SSIS). |
| Farbe | Weiß oder farblos |
| Zur Verwendung mit (Anwendung) | SSIS-Kalibrierung und Wartung |
| Material | Polystyrol |
| Produkttyp | Partikel in Standardgrößen |
| Enthält | Zertifikat der Kalibrierung und Rückverfolgbarkeit gemäß NIST |
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