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Thermo Scientific™ SURF-CAL™ Partikelgrößenstandards
Vereinfachen Sie mit diesen Partikelgrößenstandards die Vorbereitung von Kalibrierungswafern.
Marke: Thermo Scientific™ PD-092B
Additional Details : Gewicht : 0.21600kg
Beschreibung
Vereinfachen Sie die Vorbereitung von Kalibrierungswafern mit Thermo Scientific™ SURF-CAL™ Partikelgrößenstandards zur Kalibrierung und Wartung von Oberflächeninspektionssystemen (Scanning Surface Inspection Systems, SSIS). Erhältliche Partikelgrößen entsprechen den von den Instrumentenherstellern geforderten Kalibrierpunktgrößen.
Thermo Fisher Scientific™ hat zusammen mit der Halbleiterindustrie und SEMI bestimmte Partikelgrößen festgelegt, die bei der Kalibrierung von Oberflächeninspektionssystemen verwendet werden. Wir haben zusammen mit den Instrumentenherstellern die Produktreihe SURF-CAL™ entwickelt, welche die Richtlinien der SEMI-Norm erfüllt.- Die verfügbaren Größen werden gemäß Definition in der „International Technology Roadmap for Semiconductors“ (ITRS) als wesentliche Kalibrierungsknoten betrachtet.
- Durch das Auftragen von SURF-CAL™ NIST™-nachweisbaren Polystyrollatexsphären (PSL) auf speziell ausgewählte Wafer können regelmäßige Kalibrierungsprüfungen durchgeführt und Scanner vor Ort mit Scannern an anderen Standorten verglichen werden
- Des Weiteren kann die Leistung der SSIS in kritischen Phasen des Herstellungsverfahrens eingeschätzt werden.
- Alle Produkte sind in deionisiertem gefiltertem Wasser in 50 ml-Flaschen bei einer Konzentration von 3 × 108 Partikeln pro Milliliter suspendiert.
Hinweis:
Die Produkte PD1100 und kleiner sind auch mit 1010 Partikeln pro ml für Anwendungen erhältlich, bei denen ein Differenzial-Mobilitätsanalysator (DMA) oder weitere Größenausschlusstechnologien eingesetzt werden.
Spezifikation
keiner | |
Sofern nicht anders angegeben, sollte das Produkt gekühlt gelagert werden (2 ° bis 8 °C), es darf jedoch nicht eingefroren werden. Aufrecht lagern und Flasche dicht verschlossen halten Produkt entweder manuell durch vorsichtiges Überkopfdrehen oder mittels Vortexmixer mischen. | |
Partikel für die Kalibrierung und Wartung von Scanoberflächen-Inspektionssystemen (SSIS). | |
SSIS-Kalibrierung und Wartung | |
Partikel in Standardgrößen | |
1.05g/cm ³ | |
1.59 bei 589 nm (25 ° C) | |
Produkt stabil für mindestens 12 Monate |
1 x 10 ¹ º Partikel / ml | |
Polystyrol-Mikrosphären in deionisiertem, gefiltertem Wasser | |
Weiß oder farblos | |
Polystyrol | |
Zertifikat der Kalibrierung und Rückverfolgbarkeit gemäß NIST | |
50 mL | |
0.004μm | |
0,092 μm |